素材別加工事例

セラミックス

  • アルミナ（Al₂O₃）
    絶縁性・耐熱性・快削性
    熱拡散接合対応
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  • 窒化アルミニウム（AlN）
    高熱伝導・耐熱性・絶縁性・低熱膨張・耐プラズマ性・耐薬品性
    熱拡散接合対応
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  • ジルコニア（ZrO₂）
    高靭性・耐摩耗性・低熱伝導
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  • 炭化ケイ素（SiC）
    高硬度・高剛性・高熱伝導・耐腐食性
    熱拡散接合対応
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  • MMC（SiSiC）
    高剛性・低熱膨張・耐熱性
    熱拡散接合対応
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  • シリコン（Si）
    無汚染（ウェハと同質）・抵抗値の管理
    熱拡散接合対応
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  • 各種マシナブルセラミックス
    絶縁性・耐熱性・快削性
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高融点金属

  • モリブデン（Mo）
    耐熱性・高熱伝導・低熱膨張
    熱拡散接合対応
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  • タングステン（W）
    耐熱性・高熱伝導・低熱膨張・高密度
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  • タンタル（Ta）
    絶縁性・耐熱性・被削性
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  • ニオブ（Nb）
    耐熱性・超伝導特性・耐食耐性・生体適合性
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特殊金属

  • ニッケル合金（Ni）
    耐腐食性・耐熱性
    熱拡散接合対応
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  • チタン（Ti）
    高強度・軽量・加工性・耐腐食性・生体適合性
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ガラス

  • 石英ガラス・耐熱ガラス
    耐熱性・低熱膨張・絶縁性・耐薬品性
    熱拡散接合対応
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  • サファイア（Al₂O₃）
    透明・高硬度・高強度
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