窒化アルミニウムの加工事例を紹介します。
高温下（非酸化雰囲気中）で使えて、熱伝導率が高い特性を利用しての用途に多く用いられています。
窒化アルミニウム（AlN）
高熱伝導・耐熱性・絶縁性・低熱膨張・耐プラズマ性・耐薬品性
熱拡散接合対応
窒化アルミニウムの代表的な特性
| 項目 | ビッカース硬度 HV（GPa） |
破壊靭性 （MPaｍ1/2） |
最高使用温度 （℃） |
線膨張係数 （×10-⁶/℃） |
熱伝導率 (W/(m・K)) |
耐熱衝撃温度 （℃） |
絶縁耐力 （kv/mm） |
耐薬品性 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 化学式・純度 | ||||||||
| AlN | 13 | 3 | 1,500 (窒素中) |
2.4 | 160(20℃) | 400 | >15 | 比較的良好 （ただし、水・アルカリ水と反応する） |
素材特性を利用した用途
| 項目 | 特徴 | 用途 |
|---|---|---|
|
最高使用温度 低熱膨張 高熱伝導 高耐熱衝撃性 |
・熱伝導率が高いので効率良く熱を伝える。 ・熱を逃がす。 ・線膨張係数が低く耐熱衝撃に強い。急熱・急冷しても割れない。 |
・高温下で高い熱伝導が必要な部品。 ・ヒーター部材 ・放熱板 |
| 良好な耐薬品性 |
・酸性ガスに耐性がある。 ・プラズマ耐性がある。 ・水、アルカリ水と反応し、アンモニアガスを発生する。 |
・高温の酸性ガス雰囲気下の部品 ・プラズマ雰囲気下の部品 |
加工可能なサイズ
| 項目 | サイズ（mm） | 項目 | サイズ（mm） |
|---|---|---|---|
| 板 寸法 | Φ350×30 | 穴径 | Φ0.03～ |
| 丸棒寸法 | Φ20×200 | 穴深さ | ～300 |
| 溝 | 幅0.05～ | 穴数 | 1～3,000程 |
| 段差（凹凸） | ～30 | ネジ | M2～ |
