窒化アルミニウム（AlN）
ヒーター基板
| 製品名 | ヒーター基板 |
|---|---|
| 使用素材 | 窒化アルミニウム(AlN) |
| 加工内容 | マシニングセンタ加工 |
| 備考 |
φ200×t5 深さ0.3mmの溝加工 半導体製造装置 高熱伝導率、耐プラズマ性 |
素材別加工事例
| 製品名 | ヒーター基板 |
|---|---|
| 使用素材 | 窒化アルミニウム(AlN) |
| 加工内容 | マシニングセンタ加工 |
| 備考 |
φ200×t5 深さ0.3mmの溝加工 半導体製造装置 高熱伝導率、耐プラズマ性 |