ヒーター基板

製品名 ヒーター基板
使用素材 窒化アルミニウム
加工内容 マシニングセンタ加工
備考

φ200×t5

深さ0.3mmの溝加工

半導体製造装置

高熱伝導率、耐プラズマ性

窒化アルミニウム加工(AlN)事例

株式会社トップ精工

〒526-0105
滋賀県⻑浜市細江町1197-4
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