高純度SiCトレイ

製品名 高純度SiCトレイ
使用素材 炭化ケイ素(SiC)純度99.9%
加工内容 マシニグセンタ加工 ザグリ加工
備考

2インチ用

半導体CVDエッチング装置 他

全厚t0.5と薄いにも関わらず、反りなく加工

面粗度 Ra0.2

炭化ケイ素加工(SiC)事例

株式会社トップ精工

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